铁流：中芯国际进口ASML EUV光刻机 能否按时收获存在变数

大参考

　　日前，中国芯片加工企业中芯国际向全球最大的芯片设备制造商——荷兰ASML订购了首台最先进的EUV光刻机，这台机器的价格高达1.2亿美元。紧接着，媒体报道长江存储也购买了ASML的光刻机，价格大约在7000多万美元。不过，本次ASML向中芯国际和长江存储出售光刻机，与过去常见的"中国一突破，国外就放开出售"关系不大，且光刻机并非制约中芯国际的最大短板。

　　TWINSCAN NXE:3400B EUV光刻机。截图自ASML官网

　　能够买到EUV光刻机和中国技术突破关系不大

　　一直以来，西方国家在高科技领域奉行一个策略，那就是中国做不了的高度技术封杀，或者中国只能以天价去买。一旦中国能做了，立马就放开销售，而且经常将产品价格压倒中国企业的成本价，以此攻击中国企业。

　　在5月11日，上海微电子举行第100台国产高端光刻机交付产线暨产品发运长电先进仪式。笔者的一位朋友就把这件事情和中芯国际购买ASML光刻胶的事情联系起来，并且认为是国产光刻机的突破导致中芯国际能够买到EUV光刻机。

　　其实，这两件事情关系不大，因为光刻机分为前道光刻机、后道光刻机等。前道光刻机就是大家熟知的ASML的光刻机，用于芯片制造。后道光刻机主要用于芯片封装。而在新闻中，上海微电子的客户是长电科技，而非中芯国际、华力微这类晶圆厂。因而所谓的国产高端光刻机显然属于后道光刻机，与ASML的光刻机根本无法形成竞争，自然就不存在"中国一突破，国外就放开出售"的可能性。

　　中芯国际与台积电有一定差距

　　当Falbess+Foundry模式出现之后，台积电、联电等厂商抓住了机遇迅速崛起。时至今日，台积电已然位居Foundry厂商中龙头老大的地位。而且在市场份额上把格罗方德、联电、三星、中芯国际等厂商远远甩在身后。

　　从营业收入和市场份额来看，台积电都是中芯国际的10倍以上。就技术来说，目前台积电已经掌握了7nm工艺，并正在研发5nm工艺。而中芯国际还在苦苦提升28nm工艺的良率，距离突破14nm工艺还需要一些时间。

　　过去，网络上一种声音认为，中芯国际落后于台积电完全是因为买不到ASML的光刻机造成的。但实际上，中芯国际现有的设备是能够满足加工14nm芯片需要的。现在28nm良率上不去，以及迟迟无法突破14nm，主要的障碍不是设备不行，而是技术和经验上还差一些火候，这些必须通过时间和实践来磨砺，并非引进一两台设备就能解决的。

　　很多知识都是长期实践中摸索出来的，属于只可意会不可言传的那种，只能通过挖人的方式获取，一些网友切莫被情绪影响了判断。

　　中芯国际员工在上海晶圆厂

　　能不能买到EUV光刻机还存在一些变数

　　虽然西方订立了《瓦森纳协定》，对中国进行了严格的技术封锁，但资本家为了利润能够出卖绞死自己的绳索。为了赚钱，西方一些公司是有很强的动机向中国出售一些设备或是一些非尖端的技术，在这方面，与中国没有太多矛盾的欧洲企业尤为突出。像欧洲某机床厂在中国的广告宣传语就用过"与中国航天、中国航空共同进步"。

　　可以说，欧洲的很多公司在商业上一直是比较乐意把产品卖给中国的。只不过，很多商业行为往往最后要屈从于政治。这方面最典型的例子莫过于中资试图收购德国爱思强公司，即便爱思强公司非常愿意卖，爱思强的大股东也斥责德国官僚是美国的走狗，但依旧无法摆脱受美国政府摆布的命运。一旦美国政府进行干预，中国能不能如期买到EUV光刻机还很难说。

　　另外，引进EUV光刻机对于中芯国际能不能突破14nm意义不大，更多的是用来做7nm工艺的相关研究。至于突破14nm工艺，则要看梁孟松能否化腐朽为神奇了。